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滲透汽化膜分離技術運用的是細密膜、有細密皮層的復合膜或非對稱膜。原料液進入膜組件，流過膜面，在膜后側堅持低壓。由于原液側與膜后側組分的化學位不同，原液側組分的化學位高，膜后側組分的化學位低，所以原液中各組分將通過膜向膜后側滲透。由于膜后側處于低壓，所以組分通過膜后即汽化成蒸氣，蒸氣用真空泵抽走或用惰性氣體吹掃等辦法除掉，使?jié)B透進程不斷進行。原液中各組分通過膜的速率不同，透過膜快的組分就可以從原液中分別出來。從膜組件中流出的滲余物可以是純度較高的透過速率較慢的組分的產(chǎn)品。

關于必定的混合液來說，滲透速率主要取決于膜的性質。釆用適當?shù)哪げ牧虾椭圃燹k法可以制得對一種組分透過速率快，對另一組分滲透速率相對很少，乃至挨近零的膜，因此滲透汽化進程可以有效的分別液體混合物。

滲透汽化膜選用分子篩作為膜層材料（中間分別膜層），利用其規(guī)則的孔道完結不同組分間分子尺度的分別，A型分子篩滲透汽化無機膜是通過A型分子篩晶體在管式陶瓷多孔支撐體成長構成一層緊密堆積的膜層，孔徑約為4.1A，大于水分子的動力學直徑(~2.9A)而小于大多數(shù)有機溶劑的分子直徑，對水分子表現(xiàn)出杰出的擇形選擇性；

另一方面，分子篩骨架中硅鋁含量（Si/Al=1）使其具有較強的親水性，使得分子篩滲透汽化無機膜特別適用于有機溶劑脫水。

滲透汽化膜技術是一種新式膜分別技術。依靠各組分在膜中的溶解與渙散速率不同的性質來完結混合物分別的新式膜分別技術進程。具有細密皮層的滲透汽化膜將料液和滲透物分別為兩股獨立的物流。

料液側則一般堅持常壓，滲透物側則通過抽真空或載氣吹掃的方法堅持很低的組分分壓。在膜兩邊組分分壓差的推動下，料液中各組分渙散通過摸，并在膜后側汽化為滲透物蒸汽。